热系统 -美国Process Technology-高纯度产品
串联化学加热器
串联化学加热器主要应用于湿加热生产过程中,而在该生产过程中,串联加热法优于潜入式加热法。本公司的串联化学加热器由铁氟龙(聚四氟乙烯)和高纯度石英制成, 输出功率可达12, 000 w,应用温度可高达1800C。有各种型号的产品可供客户选择,包括标准产品和特制产品。
TIH 系列串联铁氟龙加热器设计坚固耐用,为化学溶液的循环或者单一加热提供了数年无故障操作。该加热器主要与外带动力泵/过滤器的化学浴槽或喷浴系统一起使用。其产业市场包括半导体、平板显示器、微机电系统、生物医学和其它工业行业所需的高纯度化学加热。
TIH产品系列,铁氟龙化学加热器
坚固耐用的串联加热器,基本上适于所有的化学液体,包括:HF 和 KOH。
TIH 系列串联铁氟龙加热器设计坚固耐用,为化学溶液的循环或者单一加热提供了数年无故障操作。该加热器主要与外带动力泵/过滤器的化学浴槽或喷浴系统一起使用。其产业市场包括半导体、平板显示器、微机电系统、生物医学和其它工业行业所需的高纯度化学加热。
TIH系列产品可用于:
SC1:氢氧化铵 (NH4OH) 和双氧水(H2O2)
SC2:盐酸 (HCL) 和双氧水
二氧化矽蚀刻剂: 氢氟酸 (HF) 和氟化铵 (NH4F)
氮化物刻蚀:磷酸 (H3PO4)
其它的酸有:
盐酸 (HCL)
氢氟酸 (HF)
醋酸 (C2H4O2)
硝酸 (HNO3)
硫酸 (H2SO4)
硫酸和双氧水
硫酸和臭氧 (O3)
l氢氟酸和乙二醇
氢氧化钾 (KOH)
氢氧化钠 (NaOH)
镀镍
镀铜
镀金
DI水
带星号*的溶剂请与公司联系
H2OT SHOTTM 石英化学加热器
加热器液体接触部位一律使用石英。维修/保养非常便捷。是SC1、SC2和其它适于石英之用的理想选择。
为了确保工作中无污染出现,本公司的红外线石英加热器液体接触部位,一律为高纯度石英。红外线加热灯管为其提供所需的热能。
该加热器一方面, 100%石英构造保证了各种不同的SC-1 和SC-2 溶液的加热,包括盐酸/双氧水混合液、铵/双氧水混合液、硫酸/双氧水混合液、磷酸、硫酸和高纯DI水。
另一方面,铁氟龙(PTFE)密闭壳体提供了防腐、免维修/保养和二级屏障的作用,壳体排气接口将多余的热导出液体加热器套。
该加热器配有超温保护器,满足GFP、SEMI S2安全指标。为了确保加热器高效、安全地运作,可以考虑添加泄漏探测器。
集上述各项功能于一身的H2OT SHOT超高纯石英化学加热器,体积不到12?2?4in3,是你理想的液体加热器或其它需要超高纯加热器应用的场合。
产品性能和优点:
显著的清洁性:100%高纯石英构造,使其操作环境极其清洁。无离子或细菌污染。
可靠性:与常规设计相比,本公司具有专利的冷却系统大大延长了加热器加热元件的使用寿命。因为冷却气体只作用在所需的地方(红外线加热灯管插口),所以用最少量的气体,达到最大的冷却效果,从而获得最大的加热效率。
节约使用成本:在不不间断化学溶液继续流通的情况下,加热元件可就地更换,显著地降低了加热器生命周期内的使用成本和化学溶液费用。
反应灵敏:因为卤素灯具有瞬间启动和快速反应的特点,所以在不同的流速下,有良好的温度稳定性。
压降小:高循环情况下,其独特的构造使压降最小。
易于维修/保养,工作停机时间最少:插入式的加热元件设计,使其更换只需几分钟,因为不用触动液体连接部分,系统也无需重新校对。
安全
设计:因为加热元件与被加热体是隔离的,所以也就不存在灾难污染的可能。
二级屏障:铁氟龙壳体也是一个免维修/保养的次级防护屏障,帮助保护周遭环境免受化学液体的溅落。另外,有泄漏探测器作为选项。
结构紧凑:安装占地面小。
无死区: 液体切线流动消除了加热器内的死角。如安装正确,还可以自动排流和自动通气。
无型密封圈: 消除了与污染有关的型密封圈,并确保工作无泄漏。