热系统 -美国Process Technology-高纯度产品
恒温清洗液槽
针对腐蚀性化学溶液，本公司特制出一系列小体积化学清洗液槽，材料有铁氟龙、PP和PVDF。其应用领域包括半导体、平板显示器、微机电系统、生物医学和制药。除供应带/不带潜入式加热器的简单液槽之外，也有许多其它系列产品备选，包括综合泵/过滤器、冷凝器、定制盖子和控制系统。
SB/RB/NE产品系列，恒温化学液槽
这三种液槽，标准型系统包括一个PFA槽、温度控制器、一个潜入式铁氟龙加热器和冗余安全措施。
SB液槽是针对SC1/SC2、BOE和其它诸多酸液而设计的PFA化学溶液系统槽。
RB液槽是在SB系统上，添加了一个化学冷凝螺旋管，适于KOH和其它类似情况的应用。
基于SB系统，NE液槽不仅添加了一个冷凝螺旋管，而且还补充了一个自动DI水给补装置。适于磷酸加热。
Etch TechTM 产品系列，阶梯式液槽
该系列是坚固的PFA液槽。需与内置加热器或外置串联加热器一起使用。
FiltranTM 产品系列，循环过滤蚀刻槽
该系列采用PP或PVDF材料构造，适于HF类的加热，温度高达1100C。配有综合泵、过滤器和铁氟龙加热器。是二氧化矽蚀刻剂的理想之选。
CQDR 产品系列，阶梯式快冲槽
该系列包括聚丙烯、聚乙烯或PVDF槽，排流迅速。